Deutschland – Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke – Evaporation System (IAF-06.1) - PR1197813-2050-P

1 Evaporation System Das Fraunhofer IAF plant die Anschaffung einer Elektronenstrahl-Verdampfungsanlage für die Metallbeschichtung. Die Anlage soll für die Bearbeitung von 150-mm-Wafern ausgelegt sein. Es handelt sich um eine wassergekühlte Hochvakuum-Beschichtungsanlage für die Metallabscheidung im vertikalen und schrägen Winkel (Substrat um 45 Grad geneigt).